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第1624章 超分辨率光刻（第2页）

“正是如此。”常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察，“当然那个成像屏也可以阻挡光路，以免高强激光束射出测试范围，对其它设备或者人造成影响。”

栾文杰下意识伸出手，想要在透镜和平板旁边比划一下。

但旋即想起这东西恐怕不能乱碰，于是又缩了回去问道：

“那为什么要把成像平板紧贴着透镜放？”

“实际上是有缝隙的，大约1.5微米。”常浩南用手势比划了一个极其微小的距离，“只是肉眼难以分辨罢了。”

他戴上特制的防静电手套，极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。

然后，开始回答对方最开始的问题。

“衍射极限之所以存在，根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。”

常浩南将那块特殊的平板捏手中，展示到栾文杰面前：

“但我们的思路是，让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生‘负折射’。”

他指向透镜和手中的平板：

“具体说，就是让从目标物体上发散出来的光线，在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦，理论上就能绕过衍射极限的束缚，真正实现完美成像。”

说话间，目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm分辨率靶标图案。

于是又补充道：

“当然，实际操作中，材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗，影响倏逝波的传输距离和最终的分辨力，所以还做不到理论上的完美成像……但把有效成像分辨率压缩到衍射极限的一半左右，就像刚才看到的那样，还是非常轻松的。”

“如果使用频谱宽度更窄、更纯净的光源，结合材料工艺的进一步优化，大概还能进一步推到四分之一。”

栾文杰站在原地感觉大脑里像是经历了一场信息风暴。

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常浩南的解释每一个字他都听见了，但那些术语——“负折射”、“倏逝波”、“阻抗匹配”、“虚部损耗”——组合在一起，却形成了一个他难以在短时间内完全理解和消化的全新物理图景。

那种感觉，不是简单的“不懂”，而是认知框架被强行拉伸、甚至局部撕裂的冲击感。

这比单纯看到突破极限的结果更让他心神震动。

足足有半分钟，他只是看着常浩南手中的那块平板，又看看屏幕上清晰的图像，嘴唇动了动，却没能发出声音。

作为工建委主任他深知这种颠覆性技术的战略价值，但正因如此，那份源于未知的沉重感才更加强烈。

不过，哪怕这周围没有外人，如此目瞪口呆的样子也不适合维持太长时间。

“咳咳……”

栾文杰清了清嗓子，准备暂时略过光学理论部分，将话题拉回到更务实的层面：

“常院士，我明白了……嗯，至少明白这意义非凡。”他指指屏幕，“这个测试结果……我能不能拷贝一份带回去？向上级汇报时，这个直观的证据比任何语言都更有说服力。”

常浩南却摆摆手：

“栾主任，这个测试作为原理验证是成功的，但作为向非专业人士展示的材料，还是太抽象了。”

华夏的决策层多数是理工科出身不假，但几十年远离一线技术工作，未必还能想起来多少具体的知识。

他把手中的镜片放回原位，继续道：

“我计划用我们基于负折射原理制作的透镜，和一块传统PMMA（有机玻璃）透镜，同时对一幅专门设计的、包含200nm线宽特征的复杂微结构图案进行曝光成像，然后用原子力（AFM）显微镜对二者的成像结果进行表面形貌扫描。”

“到时候，把AFM扫描出来的三维形貌图并排放在一起——一边是细节清晰、边缘锐利的图像，另一边是糊成一团、根本分辨不出结构的‘马赛克’……视觉冲击力会更强。”

这个方案显然经过了深思熟虑，哪怕不懂物理的人，也能一眼看出差别。

“好！这个好！”栾文杰想象着那两幅对比鲜明的图像，紧绷的神经终于舒缓了一些，“非常直观！那我就等着你这边的AFM对比图了！”

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