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第143章 光刻机的研发（第1页）

柳吟霜随刘凛下到15楼的研究室。

研究室里研究员正有条不紊地做着事情，柳吟霜走到负责测试的研究员身旁。

“柳董，刘总”研究员紧张的咽了咽唾沫，不知道自己做错了什么。

“不要紧张，这里的数据，还是这块的数据有点问题，需要重新测试一下。”柳吟霜手里拿着测试报告，指了指。

“好的，好的，柳董。”

为了不给大家增添压力，柳吟霜讲完事情就离开了。

柳吟霜回到32楼的办公室，站在落地窗前，看着城市纵横交错的街巷，心里不由想感慨一下，京城不愧是人才云集的地方，她才来没几天集团的基本框架就已经架起来了。

她最近在找合适的实验室，是时候研发光刻机了。

现在国内引入的是DUV光刻机，叫做深紫外线光刻机，主要用于制作10-130nm芯片的制作。

而柳吟霜想要研究的是EUV，叫做极紫外线光刻机。

它以波长为10－14nm的极紫外光作为光源的雕刻技术。

整个光刻过程就是二氧化碳激光器对着极小的锡球发射激光，从而产生极紫光。

然后再用一些特殊的镜子把这些极紫外光收集起来，再投射到硅片上，这样一来，就能在硅片上精确地刻画出芯片。

这项技术最大难点就是如何产生极紫外光，如何收集产生出来的极紫外光。

柳吟霜沉思了一会儿。

“统子，我最近收购了这么多家公司，积分应该有很多吧？”

柳吟霜收购的公司，大部分是能生产光刻机辅料的厂家。

【是的，宿主。】

“最近都没有找到合适的实验室，你翻翻商场里，有没有合适的？”

【有的，宿主，需要的积分才能兑换。】

“换换换，积分没了可以再花钱，好的实验室可遇不可求。”

【好的，宿主，即刻为您兑换。】

“再帮我兑换20个研究员。拉满技能！”

【好的，宿主，兑换成功，现余积分5。】

“这么快又没积分了？这花的速度，比钱还快。”

【那不是看看你研究的项目，光刻机，这个项目几个国家联合一起，耗资百亿，花了大概30年才研发成功。难度多大，你想想。】

“好吧。”柳吟霜认命。

系统刚说兑换成功，柳吟霜的手机就响了起来，一个未知的号码。

“你好”

“您好，柳总，我是凌云实验室的负责人裴予安，我今天接到实验室股权变更通知，想问下，柳总什么时候有空来实验室巡查？”

“下午三点我会过去的，你先把资料准备好。”

“好的，柳总”

“霜儿，下午要出去？”

“嗯，收购了一个实验室，要去一趟。你要去吗？”

陆川点了点头，看向她的目光若有所思。

感觉霜儿有一些事情在瞒着他。

柳吟霜没有注意到他的目光，“你过来，看看这份资料。”

“光刻机？基于3nm光刻机光学镜头的研发？准分子的激光器的研发？”陆川感觉自己已经失去了所有的力量。

“是的，光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源，并且对于光源的波长的要求很高，这是准分子激光器的研发资料，我们需要研发出3nm光刻机所需要的光源。”

“收集极紫外光需要特殊的镜子，可以通过交替排列金属钼和硅来制造能反射出极紫外线的镜子。我们需要研发出合适的镜头。”

“所以这是我们公司接下来要研发的项目吗？”

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