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团队起初质疑“磁场会干扰光源”,白梦瑶却拿出早已准备好的仿真数据:“弱磁场强度控制在50高斯以内,只会稳定等离子体,不会产生干扰,还能把功率波动从5降到1以下。”
经过一个半月调试,当监测屏幕上的功率曲线几乎成了一条直线时,实验室里的工程师们都忍不住围过来。
追问她“怎么想到用磁场辅助”?白梦瑶只笑着说:“看文献时碰巧看到磁场对等离子体的影响,试着推导了一下。”
解决完光源,第二个难题“晶圆台振动控制”来了。团队原有的液压驱动方案,高速移动时振动始终降不到01n以下。
白梦瑶想起星际“磁悬浮晶圆台”,却故意简化为“压电陶瓷+激光干涉”方案:“压电陶瓷响应速度快,能精准补偿位移。再用双频激光干涉仪实时定位,误差能控制在005n。”
惨死的假千金(苏喆衍)
为了不让人起疑,她还“故意”在原型设计中留了个小漏洞。初期陶瓷驱动电压不稳定,后来“和团队一起”调整了电压反馈电路才解决。
当晶圆台高速运转时,激光干涉仪显示振动值稳定在003n,吴教授拍着她的肩膀感叹:“小白,你这思路,比我们钻了五年牛角尖的还通透!”
最后一个“光刻胶分辨率”难题,是最棘手的。传统光刻胶曝光后容易收缩,3n电路总出现毛边。
白梦瑶想到星际光刻胶里的“纳米晶须”,却换成了l国已有的“碳纳米管”。
她提出:“在光刻胶里加表面改性的碳纳米管,能提升刚性,减少收缩。”但碳纳米管容易团聚,她又“借鉴”星际材料处理工艺,提出“等离子体接枝改性。”
接着她又提议:“用氧等离子体处理碳纳米管表面,增加和树脂的相容性。”经过三十多次配方调整,新型光刻胶终于成功,3n电路图案清晰,良品率从10飙升到88。
当团队用改进后的光刻机,在晶圆上刻出完整的3n芯片电路时,距离白梦瑶加入课题刚满七个月。
吴教授拿着检测报告,在团队会议上反复说:“白梦瑶总能从我们忽略的角度找到突破口,这就是年轻科研者的创造力!”
没人会怀疑她,毕竟她的每一个方案,都能找到现有文献的理论支撑。
每一次调试都“和团队一起”解决问题,看起来就像个“天赋异禀、善于思考”的普通学霸。
转眼读研已经过去了一年,白梦瑶的研究生生涯已过半,她和吴教授团队研发的3n光刻机技术,早已成功落地投产。
l国多家芯片企业用上了这项技术,彻底摆脱了对国外高端光刻机的依赖,相关成果还入选了年度“国家重大科技突破”。
3n光刻机研发成功的消息传到首都国防科技大学时,白蒹正在实验室调试新型雷达信号处理系统。
作为电子信息专业的尖子生,他不仅学业拔尖,还参与了学校与军工企业合作的“智能通信终端”项目。
这个项目需要一款超高精度的芯片,用来提升终端的信号传输效率,可市面上的芯片始终达不到要求。
“要是能有更精密的芯片就好了。”白蒹对着屏幕上的信号波形叹气时,突然想起妹妹白梦瑶刚突破的3n光刻技术,眼睛瞬间亮了。
妹妹研发的技术,说不定能解决芯片精度问题!他当即拿起手机,给白梦瑶打了个视频电话。
屏幕那头,白梦瑶刚结束实验室的复盘会议,脸上还带着些许疲惫,一看到哥哥的脸就笑了:“哥,怎么突然打电话?是不是想妈妈做的菜了?”
“菜当然想,但这次有正事找你。”白蒹把项目困境跟妹妹说明,“我们项目需要3n级别的专用芯片,你团队研发的光刻机,能不能支持这种定制芯片的生产?要是可以,我们说不定能促成学校和你们团队的合作。”
白梦瑶一听也来了兴趣,国防科大的项目涉及军工应用,对技术要求极高,刚好能检验3n光刻机的实战性能。“我得跟吴教授商量下,但初步看没问题。对了,你们项目负责芯片对接的是谁呀?”
“是我们系的苏喆衍学长,他比我高一届,现在是项目核心成员,不光精通芯片设计,还在量子通信领域拿过国家奖项,特别厉害。”白蒹提起苏喆衍,满是敬佩。
他接着说:“要是合作成了,我介绍你们认识,你们俩都是搞高精尖技术的,肯定有共同话题。”
一周后,合作意向正式敲定。
白梦瑶跟着吴教授去国防科大开会,白蒹特意等白梦瑶出来后带她去国防科大的科研楼,到那里的时候,走廊尽头的实验室里,苏喆衍正对着投影屏上的芯片电路图皱眉。
屏幕上标注的“28n线宽误差”红线,始终卡在合格线边缘。听到脚步声,他回头看来,眼神专注却不锐利,带着科研人特有的温和。
“喆衍学长,这是我妹妹白梦瑶,3n光刻机研发的核心成员。”白蒹快步上前,自然地打破沉默,“梦瑶,这位就是我们项目负责芯片设计的苏喆衍学长,他设计的量子通信芯片,去年还拿了军队科技进步奖。”
长相英俊的苏喆衍站起来居然有18米的身高,他朝着白梦瑶伸出手,掌心干燥温暖,两人象征性地握了一下手。
就递来的芯片设计图,上面密密麻麻的标注透着严谨:“白同学,久闻你的3n光刻技术突破。我们需要的这款军工芯片,不仅要控制28n线宽,还得在边缘电路加抗干扰屏蔽层,你们的光刻机在异形结构光刻上,精度能达标吗?”
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